Новая технология, сочетающая в себе клейкие ленты и лазерный подъемник, для получения высокопродуктивного переноса на микро-светодиодах

Исследователи продолжают уделять внимание текущим технологическим узким местам производства дисплеев Micro LED. Недавно группа исследователей из Гуандунского института полупроводниковых промышленных технологий (GISIT), Токийского университета и Foshan Debao Display Technology сообщила о своей новой технике переноса, которая объединяет клейкую ленту и технологию лазерного подъема (LLO). Исследование было опубликовано в Advanced Materials Technologies под названием «Микро-светодиоды в масштабе пластины, перенесенные на клейкую пленку для плоских и гибких дисплеев».

В своем исследовании исследователи описали систематическое решение под названием «лазерный перенос с помощью ленты» (TALT). В этом методе в качестве поддерживающей подложки используется недорогая клейкая лента, а затем используется процесс LLO для переноса Micro LED на ленту. Была добавлена ​​еще одна клейкая лента, и из-за ее более сильной адгезии светодиоды Micro LED можно перемещать с первой ленты на вторую, чтобы быть готовыми к приклеиванию флип-чипа.

(Изображение: Pan et al.2020)

По словам исследователей, этот метод позволяет быстро и на уровне пластины переносить Micro LED с высоким выходом и минимальным смещением при переносе. Процесс LLO также позволяет выборочно переносить Micro LED на ленту.

Исследователи считают, что этот подход подходит не только для переноса Micro LED на уровне пластины, но и для склеивания flip-chip. Они также считают, что он предлагает большой потенциал для разработки гибких или плоских дисплеев Micro LED для умных очков AR / VR.