Совместная программа разработки IntelliEPI и Riber MBE 8000 демонстрирует высокую толщину и однородность легирования на пластинах размером 8×6 дюймов или 4×8 дюймов.

15 июня 2023 г.

Были объявлены вехи в совместной программе развития Intelligent Epitaxy Technology Inc (IntelliEPI) из Ричардсона, штат Техас, США, которая производит эпитаксиальные пластины, выращенные с помощью МЛЭ, и Riber SA из Безона, Франция, которая производит системы молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) как а также источники испарения – в отношении квалификации новой производственной платформы MBE 8000 последнего.

MBE 8000, новый флагман компании Riber, считается самым мощным производственным инструментом MBE, доступным на рынке, способным обрабатывать партии из восьми 150-мм (6-дюймовых) или четырех 200-мм (8-дюймовых) пластин. В конструкции использован более чем 20-летний опыт производства систем MBE, ежедневно работающих по всему миру, что обеспечивает выдающиеся рабочие характеристики и стабильность процесса и, таким образом, снижает стоимость владения.

После поставки первой платформы MBE 8000 и тщательной квалификационной работы в тесном сотрудничестве с IntelliEPI результаты превзошли ожидания для такой технологии, особенно с точки зрения однородности, плотности дефектов, повышения производительности и резкости интерфейса, что является ключевым фактором для сверхрешетчатых структур. получить высокопроизводительные лазеры.

Производительность в сочетании с высоким уровнем контроля воспроизводимости от цикла к циклу в крупносерийном производстве позволит создать лазеры нового поколения, особенно для быстрорастущего сектора лазеров с поверхностным излучением с вертикальным резонатором (VCSEL), со значительными преимуществами. рыночные возможности в области распознавания лиц под дисплеем смартфона.

В своем последнем отчете о VCSEL исследовательская фирма Yole Group заявляет: «Ожидаемое серьезное изменение — это сдвиг длины волны с 940 нм до 1380 нм… для достижения интеграции VCSEL с дисплеями на органических светодиодах (OLED), которые являются прозрачными. на этой длине волны. Первым приложением может быть датчик приближения, размещенный под дисплеем…»

По словам Рибера, в дополнение к рынку VCSEL точный контроль однородности легирования и стабильности процессов, предлагаемый платформой MBE 8000, также может улучшить характеристики микроэлектронных устройств, такие как проводимость.

Рибер добавляет, что за последние несколько месяцев, когда результаты были раскрыты нескольким промышленным клиентам, интерес к машине быстро вырос, что привело к обсуждению потенциальной покупки.

«Начиная с первоначальной оценки, этот Riber MBE 8000 показал очень впечатляющую производительность с точки зрения возможности производить высококачественные эпитаксиальные материалы на такой большой площади плиты подложки с превосходной однородностью состава и толщины на плите 8×6 дюймов». комментирует президент и главный исполнительный директор IntelliEPI Юнг-Чунг Као. «Благодаря этому усовершенствованию платформа MBE 8000 предлагает решение, позволяющее сделать крупномасштабное производство технологии MBE более конкурентоспособным, особенно для возможностей рынка с высокой производительностью и высокой пропускной способностью», — добавляет он.

«Благодаря усилиям команд Riber и IntelliEPI мы сделали большой шаг к квалификации MBE 8000. Результаты, обеспечиваемые машиной, превышают наши первоначальные цели», — заявляет генеральный директор Riber Кристиан Дюпон. «Благодаря оптимальной стоимости владения и большой емкости оборудование MBE 8000 имеет большие коммерческие перспективы», — считает он. «Кроме того, наша веха в этой совместной программе разработки с IntelliEPI демонстрирует возможность внедрения технологии МЛЭ в крупносерийную полупроводниковую промышленность».

Riber поставляет первую систему MBE 8000

Рибер МБЭ IntelliEpi

www.intelliepi.com

www.riber.com