AIXTRON запускает новую систему G10-AsP на выставке Photonic West / Планетарная технология AIXTRON закладывает основу для следующего поколения микросветодиодных дисплеев высокого разрешения и лазеров

Планетарная технология AIXTRON закладывает основу для следующего поколения микросветодиодных дисплеев высокого разрешения и лазеров.

AIXTRON SE (FSE: AIXA, ISIN DE000A0WMPJ6) выпускает на рынок первую полностью автоматизированную платформу AsP. Новая система G10-AsP отвечает растущим требованиям в области микросветодиодов и лазерных устройств. Как первая система в отрасли, G10-AsP обеспечивает надежное крупносерийное производство, связанное с очень высокими и сложными требованиями.

«Микросветодиоды произведут революцию в мире дисплеев, поскольку они обеспечивают большую долговечность, более длительный срок службы, лучшее качество изображения и очень низкое энергопотребление. Однако эта инновационная технология бросает вызов производственному процессу, поскольку требует минимального уровня брака и высочайшей степени однородности. Ответом на все это является наш новый G10-AsP, поскольку он предлагает первый в отрасли полностью автоматизированный процесс. Новая система обеспечивает самую высокую производительность в своем классе с беспрецедентным уровнем однородности и дефектов», — говорит д-р Феликс Граверт, генеральный директор и президент AIXTRON SE.

Впервые становится реальностью настоящее массовое производство микросветодиодов с максимально жесткими требованиями к материалам и уменьшенными размерами кристаллов до 10 микрон и меньше. Кроме того, G10-AsP также отвечает сложным требованиям для производства лазеров InP (фосфид индия) и VCSEL (лазер с поверхностным излучением с вертикальным резонатором) в больших объемах.

Новая платформа G10-AsP будет официально представлена ​​1 февраля 2023 года во время выставки Photonic West в Сан-Франциско, США. Во время этого мероприятия эксперты AIXTRON представят новую систему: они расскажут обо всех инновациях, заложенных в новую платформу, и о том, как она обеспечит самую высокую пропускную способность в своем классе и максимальное использование чистых помещений.

Новый полностью автоматизированный G10-AsP является крупнейшим 200-мм реактором периодического действия AsP, выпущенным на рынок, и поставляется с очисткой на месте и автоматической загрузкой пластин из кассеты в кассету (C2C). Впервые передняя часть может быть оснащена модулями SMIF (стандартный механический интерфейс), чтобы еще больше свести к минимуму воздействие на эпитаксиальные пластины окружающей среды в помещении. Благодаря встроенной очистке на месте пользователи могут сбрасывать условия камеры по требованию — будь то после каждого запуска процесса для самых требовательных требований или сразу после производственной кампании для получения максимальной производительности. Платформа основана на успешной технологии Planetary Reactor®, которая сочетает в себе концепцию реактора периодического действия с несколькими пластинами и вращением одной пластины, что гарантирует высочайшую однородность пластин.

Микросветодиоды будут использоваться не только для следующего поколения телевизионных дисплеев, но и для будущих смарт-часов, смартфонов, проекций дополненной реальности (AR) или автомобильных дисплеев. Аналитики ожидают, что эта область станет крупнейшим рынком для светодиодов в ближайшие пять-десять лет.

Одной большой проблемой для достижения следующего уровня для передовых микро-светодиодов, а также для приложений InP и VCSEL остается однородность: оптимизированная однородность на пластине и однородность между пластинами должна быть достигнута в крупносерийном производственном процессе. Новый G10-AsP устанавливает новый стандарт в отношении этих значений, предлагая улучшение в два-три раза по сравнению с его предшественником. Следовательно, эта полностью автоматизированная платформа положит начало новой эре производства микросветодиодов и фотонных устройств, преодолев основные препятствия, которые ранее мешали надежному массовому производству.

Фотонные устройства, такие как инфракрасные лазеры и детекторы, уже получили широкое распространение на рынке. В телекоммуникациях они закладывают основу для управления постоянно растущими объемами данных, которые связаны с постоянно растущими требованиями к пропускной способности. Кроме того, они позволяют использовать 3D-сенсоры, например, для распознавания лиц, и передовые технологии для автономного вождения: с непрерывным развитием этой технологии лучи должны отображать все более широкие области. Это требует более жестких допусков на длину волны, что приводит к очень жестким требованиям к нанесению эпитаксиального слоя. Новый G10-AsP может удовлетворить эту потребность, обеспечивая значительно усовершенствованный контроль эпитаксиального процесса с улучшенной точностью материала, меньшим количеством дефектов и, как следствие, более высоким выходом и лучшей однородностью.

При производстве микро-светодиодов улучшенная однородность является предпосылкой для экономичного массового производства: микро-светодиодные дисплеи основаны на специальном штампе или процессе переноса матрицы, при котором тысячи светодиодных чипов (массивов) размером всего в несколько микрометров собираются и перенесено. Поскольку целые массивы пикселей переносятся с эпивафельной подложки, требуется почти идеальная однородность — или вы можете представить себе человека, который покупает умные часы или смартфон с дисплеем, цвет которого в одном углу отличается от другого?

Новый полностью автоматизированный AIX G10-AsP — это самый большой 200-миллиметровый реактор периодического действия AsP, выпущенный на рынок. Он поставляется с очисткой на месте и автоматической загрузкой пластин из кассеты в кассету (C2C).