21 июля 2022 г.
Производитель оборудования для осаждения Aixtron SE из Херцогенрата, недалеко от Аахена, Германия, должен отправить новую систему химического осаждения из паровой фазы (MOCVD) с закрытой насадкой для душа (CCS) в Техасский университет в Остине, Исследовательский центр микроэлектроники (MRC), Департамент Электротехника и вычислительная техника.
Инструмент для осаждения MOCVD специально сконфигурирован для обеспечения возможности использования двух материалов, а именно оксида галлия (Ga2О3), а также материалы на основе нитрида галлия (GaN). Оба материала относятся к материалам с широкой и сверхширокой запрещенной зоной — оксид галлия и его сплавы могут работать при более высоких напряжениях, частотах и температурах, чем существующие полупроводниковые материалы, — что открывает новые области применения в области фотодиодов и силовых переключателей.
«В прошлом у нас был большой опыт работы с реакторами Aixtron CCS для материалов GaAs и InP. Мы с нетерпением ждем возможности сотрудничать с Aixtron, поскольку мы разрабатываем новые эпитаксиальные слои и устройства, используя эту гибкую систему для двойных материалов, Ga2О3 и GaN», — говорит профессор Сюлин Ли, почетный профессор кафедры электротехники и вычислительной техники Техасского университета в Остине, а также научный сотрудник IEEE. «Этот уникальный реактор MOCVD для выращивания оксида галлия и III-нитридов выведет Техасский университет на передний план исследований в этой области», — считает директор MRC профессор Санджай Банерджи.
По словам Aixtron, систему MOCVD можно легко переключить с режима оксида галлия на нитрид галлия, что обеспечивает безопасную и безупречную работу системы. В основе инструмента MOCVD лежит душевая головка с тройным напором, позволяющая полностью отделять окисляющие материалы от металлоорганических и газовых прекурсоров до подачи в технологическую камеру. Система обеспечивает высокую степень термической однородности благодаря полному отображению температур ARGUS по всему токоприемнику, и она рассчитана на высокотехнологичные исследования и разработки – как в академических учреждениях, так и на инновационных частных предприятиях, добавляет фирма.
«Наши инструменты CCS MOCVD отлично зарекомендовали себя в академической работе, а затем масштабируются для промышленных предприятий первого уровня», — говорит генеральный директор и президент Aixtron д-р Феликс Граверт.
Экстрон Оксид галлия