ams OSRAM квалифицирует системы Aixtron G5+ C и G10-AsP на 200-мм пластинах для микро-светодиодов

7 февраля 2023 г.

Производитель оборудования для напыления Aixtron SE из Герцогенрата, недалеко от Аахена, Германия, сообщает, что компании am OSRAM GmbH из Премштеттена/Граца, Австрия, и Мюнхена, Германия, аттестовали свои металлоорганические химические паровые системы AIX G5+ C и G10-AsP (арсенид-фосфид) (MOCVD). ) системы на 200-мм пластинах для микро-светодиодов.

В AIX G5+ C и новом G10-AsP используется планетарная технология Aixtron для микросветодиодных дисплеев высокого разрешения. Весной 2022 года ams OSRAM объявила о планах по созданию дополнительных производственных мощностей для производства светодиодов и микросветодиодов диаметром 200 мм на своем существующем предприятии в Малайзии. Ожидается, что системы MOCVD помогут обеспечить массовое производство микро-светодиодов для дисплеев нового поколения.

«Aixtron и ams OSRAM давно сотрудничают, и мы знакомы с производительностью и стандартами качества оборудования. Для амбициозного проекта, такого как разработка и производство микро-светодиодов для устройств AsP и GaN, нам нужен был именно такой партнер на нашей стороне», — говорит Роберт Ферле, исполнительный вице-президент и глава подразделения Opto Semiconductors компании ams OSRAM.

«Квалификация G10-AsP и AIX G5+ C в ams OSRAM — очень важная веха в истории нашей компании, — говорит генеральный директор и президент Aixtron д-р Феликс Граверт. «AMS OSRAM — производитель светодиодов мирового уровня, и у нее идеальное положение для внедрения фундаментальных новых технологий, которые появятся на рынке», — добавляет он. «Мы находимся на пороге перехода от традиционных технологий отображения к новому типу микро-светодиодных дисплеев. Теперь Aixtron выходит на один из перспективных рынков с огромным потенциалом, и мы делаем это вместе с идеальным партнером».

Говорят, что технология Micro-LED предлагает значительные преимущества для технологии отображения, такие как более высокая плотность пикселей, более длительный срок службы, более высокая яркость, более высокая скорость переключения и более широкий цветовой спектр. Ключевым преимуществом также является низкое относительное энергопотребление, позволяющее использовать микро-светодиоды в будущих поколениях потребительских устройств с меньшим дисплеем, которые обеспечивают очень ограниченное пространство для батарей.

Массовое производство микро-светодиодов включает в себя специальный процесс передачи, при котором многие тысячи светодиодных чипов (массивов) размером всего микрон берутся и передаются. Любой дефект может привести к битым пикселям, что сделает весь массив бесполезным. Следовательно, необходим почти безошибочный процесс эпитаксии, минимизирующий дефекты и обеспечивающий высокую производительность и экономически выгодное производство микросветодиодов.

Компания Aixtron заявляет, что ее новый инструмент для эпитаксии G10-AsP был разработан для удовлетворения конкретных потребностей этого приложения. Утверждается, что это первый полностью автоматизированный реактор AsP, предлагающий загрузку пластин из кассеты в кассету (C2C), а также механизм очистки, основанный на травлении на месте. Считается, что вместе эти две функции оказывают большое влияние на производительность. Система также обладает преимуществами технологии реакторов периодического действия: она обеспечивает, как утверждается, самую низкую стоимость производства пластины, доступную в настоящее время на рынке, и самую высокую производительность в расчете на площадь чистого помещения. В то же время новый инструмент оснащен точным контролем расхода и температуры, оптимизируя однородность материала от цикла к циклу.

Aixtron запускает систему G10-AsP на выставке Photonic West

Экстрон микросветодиод

www.aixtron.com

www.ams-osram.com