AIXTRON поставляет систему MOCVD в Японский университет в Нагое для глубоководных оптико-электронных приборов на основе GaN

Немецкий поставщик полупроводникового оборудования AIXTRON объявил о партнерстве с Университетом Нагоя в Японии. Производитель оборудования поставил систему Close Coupled Showerhead® (CCS) для Института материалов и систем устойчивости Университета (IMaSS).

Платформа Flip Top CCS MIXVD 3×2 дюйма AIXTRON предназначена для исследований в области оптоэлектронных приборов на основе глубокого ультрафиолета (DUV) на основе GaN. Специально разработанная для исследований и мелкосерийного производства, система AIXTRON обеспечивает реальное масштабирование от НИОКР до крупносерийного производства. Концепция душевой головки с закрытым сопряжением, по сути, обеспечивает чрезвычайно равномерное и воспроизводимое осаждение различных сложных, в основном, монокристаллических материалов.

«В дополнение к превосходным техническим характеристикам, наш реактор с откидной крышкой для душа с откидной крышкой® отличается простотой обслуживания и минимальными эксплуатационными расходами. Система является одним из самых успешных продуктов AIXTRON, что подтверждается многочисленными заказами университетов, лабораторий и других исследовательских организаций. учреждений по всему миру. Мы рассчитываем на тесное сотрудничество с Нагойским университетом и его известным IMaSS », – комментирует д-р Бернд Шульте, президент AIXTRON SE.