VerLASE представляет новую технологию массопереноса для микро светодиодных дисплеев

Компания-разработчик технологии Micro LED VerLASE представила новую технологию массопереноса для производства дисплеев Micro LED на основе своей «платформы для сборки больших площадей» (LAAP), которую компания показала в июне 2019 года. С подобной концепцией компания переводит технологию в более простую , полупроводниковое-Fab-совместимое решение на основе фотомеханического привода (PMA).

Согласно VerLASE, в решении используется новая рецептура, состоящая из потрясающих химикатов и уникальной архитектуры переносных штампов, позволяющая детерминистически захватывать большое количество микродисков, переводить их в нужное место высадки на подложке и затем распределять их. с очень высокой точностью и скоростью. Это распределение микродием может быть выполнено глобально или локально путем индивидуальной адресации микродиапазонов, как запрограммировано.

Упрощенно, штамп переноса имеет трехслойную конструкцию: тонкую прозрачную подложку, композицию PMA с рисунком и более жесткий материал, получивший название «барьерные ребра», окружающие композицию PMA с рисунком, как показано ниже:

(Изображение: VerLASE)

По существу прозрачный и гибкий штамп переноса обеспечивает точное совмещение с пластиной источника донорного светодиода и удерживаемыми на ней микродисками, а также с промежуточной вставкой принимающей цели или объединительной панелью дисплея.

VerLASE отмечает, что решение может работать с различными способами сбора микродисков, в то время как оно использует собственный метод. А выдача штампов осуществляется либо путем затопления, либо путем избирательного воздействия материала PMA в штампе переноса на свет. Новая фотореактивная химия подвергается физическому сокращению, вызванному светом, при освещении источником света.

Когда материал PMA сжимается при этом световом освещении, вытягивая вместе с ним прикрепленные микродиски, «барьерные ребра» действуют как жесткий физический упор, заставляя склеивающий интерфейс, удерживающий микродиски с материалом PMA, уступать, тем самым высвобождая микродиски. Сила сцепления поверхности раздела микродиска / материала PMA может варьироваться по мере необходимости, так что она достаточно низкая для отсоединения микродиска без структурного разрушения микродиска.

Существующие инструменты экспонирования в сочетании с бинарными хромомами-фотомасками и сканирующими лазерными системами с низким энергопотреблением позволяют в высокой степени мультиплексировать адресуемый массовый выпуск микродисков или локальное распределение микродисков по желанию.

(Изображение: VerLASE)

Составы материалов PMA, которые в настоящее время исследуются, являются фотоактивированными, в основном это химические препараты одноразового использования, но другие варианты также могут быть применены в будущем.

Полный штамп для переноса пластин, как показано выше, с возможностью масштабирования до 6 дюймов и более, может быть изготовлен с использованием существующего инструмента с очень высокой точностью и низкой стоимостью. Затраты на масштабирование, репликацию и наличие различных SKU возрастают, что позволяет обслуживать широкий спектр шаблонов и высот отображения.

Кроме того, марка Transfer, однажды сконструированная, может сочетаться и использоваться с минимально модифицирующим существующим полупроводниковым оборудованием. Полный штамп переноса пластин должен предусматривать массовый перенос микропланшетов порядка менее 5 мкм.

В качестве штампа с полной передачей пластин и размером микродиапазонов менее 5 мкм скорость передачи, превышающая 10 млн. Микродисков на единицу передачи, должна быть обычно возможной, что позволяет экономично изготавливать широкий спектр разрешений экрана и размеров дисплея.

VerLASE рассчитывает выпустить дисплеи с разрешением более 400 пикселей на дюйм для размеров смартфонов с помощью метода, обеспечивающего высокую производительность и обеспечивающего встроенную метрологию и текущий ремонт.

Ортор: Джордж Пауч и Аджай Джайн / VerLASE; под редакцией Инин Чен / LEDinside