17 декабря китайский производитель инструментов для изготовления чипов Kingsemi запустил новое поколение своей машины для покрытия и проявки пластин FT (III) 300. Машина имеет симметричную конструкцию с 36 центрами обработки. Машина способна производить 300 ломтиков в час и может быть модернизирована до 48 узлов обработки для повышения производительности. Kingsemi заявила, что ее машина совместима с основными технологиями фотолитографии, включая KrF, ArF dry и ArF. Компания Kingsemi, основанная в 2002 году дочерней компанией Китайской академии наук в Шэньяне, занимается исследованиями и разработками в области оборудования для производства полупроводников. Он был зарегистрирован в Шанхае в 2019 году. [Kingsemi, in Chinese]
Читать полную новость на сайте
