Canon запускает внутренний степпер i-line для 3D-упаковки

71

Опция FPA-5520iV LF2

3D-технология, предназначенная для объединения полупроводниковых микросхем для повышения производительности (концептуальное изображение)

Экспонирование одной пластины большого размера за 4 выстрела (4 выстрела х 4 раза)

Экспонирование одиночной пластины большого размера осуществляется за 4 выстрела (4 выстрела х 4 раза).

Опция FPA-5520iV LF2 снижает аберрацию искажений менее чем на 1/4 по сравнению с предыдущей моделью, опцией FPA-5520iV LF (выпущенной в апреле 2021 г.), и оснащена новой проекционной оптической системой с более равномерным уровнем освещенности.

Эти усовершенствования позволяют шаговым двигателям LF2 Option обеспечивать разрешение 0,8 мкм в большом поле одиночной экспозиции 52 мм × 68 мм, а также делают возможным сверхширокое поле экспозиции 100 мм x 100 мм.

Опция FPA-5520iV LF2 унаследовала базовые характеристики FPA-5520iV, способные работать с деформированными восстановленными носителями, что может возникнуть в слоях упаковки в процессе массового производства, а также высокую производительность для повышения доступности путем обнаружения метки совмещения — даже на восстановленных подложках с большими вариациями матрицы чипов.

ОСТАВЬТЕ ОТВЕТ

Пожалуйста, введите ваш комментарий!
пожалуйста, введите ваше имя здесь