Опция FPA-5520iV LF2
Экспонирование одиночной пластины большого размера осуществляется за 4 выстрела (4 выстрела х 4 раза).
Опция FPA-5520iV LF2 снижает аберрацию искажений менее чем на 1/4 по сравнению с предыдущей моделью, опцией FPA-5520iV LF (выпущенной в апреле 2021 г.), и оснащена новой проекционной оптической системой с более равномерным уровнем освещенности.
Эти усовершенствования позволяют шаговым двигателям LF2 Option обеспечивать разрешение 0,8 мкм в большом поле одиночной экспозиции 52 мм × 68 мм, а также делают возможным сверхширокое поле экспозиции 100 мм x 100 мм.
Опция FPA-5520iV LF2 унаследовала базовые характеристики FPA-5520iV, способные работать с деформированными восстановленными носителями, что может возникнуть в слоях упаковки в процессе массового производства, а также высокую производительность для повышения доступности путем обнаружения метки совмещения — даже на восстановленных подложках с большими вариациями матрицы чипов.
