Aixtron запускает систему G10-AsP на выставке Photonic West

26 января 2023 г.

Производитель оборудования для осаждения Aixtron SE из Херцогенрата, недалеко от Аахена, Германия, запускает на рынок то, что, по его словам, является первой полностью автоматизированной платформой AsP (арсенид-фосфид), обеспечивающей надежное крупносерийное производство, связанное с очень сложными требованиями. Новая система G10-AsP специально предназначена для удовлетворения растущих потребностей в секторах микро-светодиодов и лазерных устройств.

«Микро-светодиоды произведут революцию в мире дисплеев, поскольку они обеспечивают большую долговечность, более длительный срок службы, лучшее качество изображения и очень низкое энергопотребление. Однако эта инновационная технология бросает вызов производственному процессу, поскольку требует минимального уровня брака и высочайшего уровня однородности», — говорит генеральный директор и президент д-р Феликс Граверт. «Новая система обеспечивает самую высокую пропускную способность в своем классе с беспрецедентным уровнем единообразия и дефектов».

По словам Aixtron, впервые настоящее массовое производство микросветодиодов с самыми строгими требованиями к материалам и уменьшенными размерами кристаллов до 10 мкм и меньше становится реальностью. G10-AsP также отвечает комплексным требованиям для производства лазеров на фосфиде индия (InP) и VCSEL (лазеров с поверхностным излучением с вертикальным резонатором) в больших объемах.

Новая платформа G10-AsP будет официально представлена ​​1 февраля во время выставки Photonic West 2023 в Сан-Франциско, Калифорния, США, где Aixtron представит новую систему, объяснив новшества, которые есть в новой платформе, и то, как она обеспечит то, что заявляет, что обладает самой высокой пропускной способностью в своем классе и обеспечивает максимальное использование чистых помещений.

G10-AsP считается самым большим 200-мм реактором периодического действия AsP на рынке и поставляется с очисткой на месте и автоматической загрузкой пластин из кассеты в кассету (C2C). Впервые передняя часть может быть оснащена модулями SMIF (стандартный механический интерфейс), чтобы еще больше свести к минимуму воздействие на эпитаксиальные пластины окружающей среды помещения. Благодаря встроенной очистке на месте пользователи могут сбрасывать условия камеры по запросу — либо после каждого запуска процесса для самых высоких требований, либо сразу после производственной кампании, чтобы получить максимальную производительность. Платформа основана на технологии планетарного реактора, которая сочетает в себе концепцию реактора периодического действия с несколькими пластинами и вращение одной пластины для обеспечения максимальной однородности пластин.

Микросветодиоды будут использоваться не только для следующего поколения телевизионных дисплеев, но и для будущих умных часов, смартфонов, проекций дополненной реальности (AR) или автомобильных дисплеев. Аналитики ожидают, что эта область станет крупнейшим рынком для светодиодов в ближайшие 5–10 лет.

Одной большой проблемой для достижения следующего уровня не только передовых микро-светодиодов, но и приложений InP и VCSEL остается единообразие. Оптимизированная однородность на пластине и однородность между пластинами должны быть достигнуты в крупносерийном производственном процессе. Говорят, что новый G10-AsP устанавливает новый стандарт в отношении этих значений, предлагая улучшение в два-три раза по сравнению с его предшественником. Таким образом, считается, что эта полностью автоматизированная платформа положит начало новой эре производства микро-светодиодов и фотонных устройств, преодолев основные препятствия, которые ранее препятствовали надежному массовому производству.

В телекоммуникациях фотонные устройства, такие как инфракрасные лазеры и детекторы, заложили основу для управления постоянно растущими объемами данных, связанными с постоянно растущими требованиями к пропускной способности. Кроме того, они позволяют использовать 3D-сенсоры (например, для распознавания лиц) и передовые технологии для автономного вождения: с непрерывным развитием этой технологии лучи должны отображать все более широкие области. Это требует более жестких допусков на длину волны, что приводит к очень жестким требованиям к нанесению эпитаксиального слоя. Aixtron говорит, что новый G10-AsP может удовлетворить эту потребность, обеспечивая значительно улучшенный контроль эпитаксиального процесса с улучшенной точностью материала, сниженным уровнем дефектов и, как следствие, более высоким выходом и лучшей однородностью.

При производстве микро-светодиодов улучшенная однородность является необходимым условием для экономически жизнеспособного массового производства: микро-светодиодные дисплеи основаны на специальном штампе или процессе переноса матрицы, при котором собираются тысячи светодиодных чипов (матриц) размером всего в несколько микрон. и передано. Поскольку с эпивафельной подложки переносятся целые массивы пикселей, требуется почти идеальная однородность — чтобы, например, экран смарт-часов или смартфона не имел другого цвета в одном углу, чем в другом.

Aixtron выпускает 200-мм CVD-систему G10-SiC

Экстрон

www.aixtron.com