Производитель оборудования для осаждения Aixtron SE из Херцогенрата, Германия, заявил о своей поддержке GlobiTech Inc из Шермана, штат Техас, США, в их стремлении расширить бизнес в области эпитаксии кремния карбида (SiC). Новая система химического осаждения из паровой фазы (CVD) G10-SiC позволила GlobiTech значительно увеличить объемы производства эпитаксии SiC, чтобы удовлетворить растущий спрос на этот важный полупроводниковый материал.
Эпитаксиальные пластины SiC имеют большое значение для сегмента рынка электромобилей и электроники, и выбор GlobiTech G10-SiC означает инвестицию в будущее. Эта система, представленная официально в сентябре 2022 года, стала рекордным инструментом как для производителей устройств SiC диаметром 150 мм, так и для 200 мм. Её также выбрали литейные предприятия, такие как GlobiTech, для производства карбида кремния и кремниевых эпивафлей, используемых в электромобилях.
Генеральный директор и президент Aixtron, доктор Феликс Граверт, отметил, что это диверсификация бизнеса GlobiTech свидетельствует о долгосрочной тенденции замены традиционного кремния на карбид кремния во многих приложениях полупроводниковой промышленности.
GlobiTech уже успешно использует системы G5WW C и G10-SiC Aixtron для крупносерийного производства, и планирует продолжить увеличивать свои объемы производства, предоставляя на рынок как подложки SiC, так и эпитаксию SiC. Сотрудничество с Aixtron поддерживает их стратегию роста на рынке эпитаксии SiC.
Президент GlobalWafers, Марк Ингланд, отметил, что выбор инструментов Aixtron позволяет им максимально использовать текущее производство и конкурировать на рынке полупроводниковых продуктов, предоставляя при этом отличную поддержку и обслуживание клиентов.
G10-SiC считается первым на рынке инструментом для эпитаксии SiC, который позволяет производить эпитаксиальные пластины SiC в больших объемах. Это становится особенно важным, поскольку рынок переходит от диаметра пластин 6 дюймов к 8 дюймам. Новая платформа базируется на проверенном автоматизированном решении Aixtron для загрузки пластин из кассеты.
