Canon объявляет о альтернативе EUV-литографии для создания 5-нм цепей

242

Текст рассказывает о технологии наноштамповки, которая используется для создания электрических схем. Эта технология позволяет передавать сложные двух- или трехмерные схемы на матрицу и точно воспроизводить их на столе. Процесс передачи схемы на матрицу не требует оптического механизма, что позволяет сохранить высокую точность передачи мельчайших деталей схемы. Таким образом, сложные схемы могут быть созданы в одной операции, что может снизить стоимость производства. Технология наноштамповки также позволяет изготавливать схемы с высокой точностью выравнивания, что особенно важно при создании полупроводников с возрастающим количеством слоев и снижении дефектов из-за мельчайших частиц. Она также уменьшает потребление энергии, что способствует снижению выбросов CO2.

Читать полную новость на сайте