AIXTRON и ams OSRAM объявляют о квалификации систем AIXTRON G5+ C и G10-AsP на 200-мм пластинах для применения в микросветодиодах

Герцогенрат, Германия, Премштеттен, Австрия, Мюнхен, Германия, 7 февраля 2023 г. – AIXTRON SE (FSE: AIXA), ведущий мировой поставщик оборудования для нанесения покрытий для полупроводниковой промышленности, и ams OSRAM (SIX: AMS), мировой лидер в области оптических решения, объявила сегодня, что am OSRAM аттестовала системы AIXTRON AIX G5+ C и G10-AsP MOCVD на 200-мм пластинах для приложений Micro LED.

Системы MOCVD AIX G5+ C и новый G10-AsP от AIXTRON SE предлагают планетарную технологию AIXTRON, которая прокладывает путь к следующему поколению дисплеев Micro LED с высоким разрешением. Весной 2022 года ams OSRAM объявила о планах создания дополнительных производственных мощностей для производства светодиодов и микросветодиодов диаметром 200 мм на своем существующем предприятии в Малайзии. Ожидается, что системы MOCVD помогут обеспечить массовое производство микросветодиодов для дисплеев нового поколения.

«AIXTRON и ams OSRAM давно сотрудничают, и мы знакомы с производительностью и стандартами качества оборудования. Для такого амбициозного проекта, как разработка и производство микросветодиодов для устройств AsP и GaN, нам нужен был именно такой партнер на нашей стороне», — говорит Роберт Ферле, исполнительный вице-президент и глава бизнес-подразделения Opto Semiconductors в ams OSRAM.

Д-р Феликс Граверт, генеральный директор и президент AIXTRON SE, добавляет: «Квалификация G10-AsP и AIX G5+ C в ams OSRAM — очень важная веха в истории нашей компании. ams OSRAM является производителем светодиодов мирового класса и имеет идеальные возможности для внедрения фундаментальных новых технологий, которые появятся на рынке. Мы находимся на пороге перехода от традиционных технологий отображения к новому типу дисплеев Micro LED. Теперь AIXTRON выходит на один из перспективных рынков с огромным потенциалом, и мы делаем это вместе с идеальным партнером».

Технология Micro LED предлагает очень значительные преимущества для технологии отображения, такие как более высокая плотность пикселей, более длительный срок службы, более высокая яркость, более высокая скорость переключения и более широкий цветовой спектр. Важным преимуществом является также низкое относительное энергопотребление, что делает Micro LED идеально подходящим для будущих поколений небольших потребительских устройств с дисплеем, которые обеспечивают очень ограниченное пространство для батарей.

Производство Micro LED предъявляет особые требования: массовое производство Micro LED включает в себя специальный процесс передачи, при котором несколько тысяч светодиодных чипов (массивов) размером всего в микрометры берутся и перемещаются. Любой дефект может привести к битым пикселям, которые сделают весь массив бесполезным. Следовательно, необходим почти безошибочный процесс эпитаксии, сводящий к минимуму количество дефектов и обеспечивающий высокую производительность и экономически выгодное производство микросветодиодов.

Новый инструмент AIXTRON для эпитаксии G10-AsP был разработан для удовлетворения конкретных потребностей этого приложения: это первый в мире полностью автоматизированный реактор AsP, предлагающий загрузку пластин из кассеты в кассету, а также механизм очистки, основанный на травлении на месте. Вместе эти две функции оказывают большое влияние на производительность. Кроме того, система AIXTRON обладает преимуществами технологии реакторов периодического действия: она отличается самой низкой себестоимостью производства одной пластины, доступной в настоящее время на рынке, и самой высокой производительностью в расчете на площадь чистого помещения. В то же время новый инструмент оснащен точным контролем расхода и температуры, что обеспечивает наилучшую однородность материала от прохода к проходу.