VEECO представляет системы MOCVD для массового производства современных фотонических устройств, покрывающих Micro LED и VCSEL

1101
<pre>VEECO представляет системы MOCVD для массового производства современных фотонических устройств, покрывающих Micro LED и VCSEL


Veeco Instruments представила платформу Lumina MOCVD, которая включает в себя запатентованную реакторную технологию TurboDisc® для обеспечения однородности пленки, выхода и производительности устройства для приложений фотоники. Эта новая платформа MOCVD, включая модели Lumina R480 ™ и Lumina R480S ™, ускорит производство устройств VCSEL, Edge-Emitting Laser (EEL) и Mini / Micro LED. Поставщик оборудования привез свои новые продукты на Photonics West, начиная с 4 февраля в Сан-Франциско.

(Изображение: Veeco)

По словам Veeco, новая платформа Lumina предназначена для продвижения высокоэффективных фотонных устройств, включая производство VCSEL, Mini и Micro LED, а также устройств EEL, используемых для современных оптических коммуникаций и приложений кремниевой фотоники.

Системы Lumina R480 и R480S основаны на ведущей в отрасли технологии MOCVD TurboDisc® компании Veeco, которая отличается превосходной однородностью и низкой дефектностью по сравнению с длительными кампаниями, обеспечивая исключительную производительность и гибкость. Кроме того, запатентованная технология Veeco обеспечивает равномерный температурный контроль для превосходной толщины и однородности состава. Обеспечивая плавный переход размера пластины, система способна наносить высококачественные эпитаксиальные слои As / P на пластины диаметром до шести дюймов. Системы R480 и R480S позволяют пользователям максимально настраивать свои системы.

,