Представитель Canon делится достижениями в области литографии и взглядами на китайский рынок чипов

321

С 5 по 10 ноября в Шанхае проходила Китайская международная выставка импортных товаров (CIIE) 2022, в которой приняли участие такие производители основных инструментов для производства микросхем, как ASML, Lam Research, Canon и Nikon.

Присутствие последних двух было особенно значительным в этом году. ASML, поставщик наиболее важного оборудования для фотолитографии для производства микросхем, прекратил обслуживать китайских клиентов из-за того, что американские инженеры не могут работать с передовыми китайскими производителями микросхем без лицензии в соответствии с новыми мерами контроля за экспортом микросхем США, опубликованными 7 октября. Хотя ASML доминирует рынок фотолитографии с долей 90%по данным Reuters, традиционные японские оптические гиганты Canon и Nikon все активнее борются за плацдарм в этом секторе, и теперь у них есть возможность закрепиться на китайском рынке.

Canon вышла на китайский рынок инструментов для производства полупроводников в 1980-х годах, поставляя фотолитографию и другие инструменты для изготовления микросхем местным клиентам. Сегодня Canon поставляет оборудование крупным китайским фирмам, включая SMIC, YMTC и BOE, говорится в брошюре фирмы на CIIE.

В групповом интервью на выставке 7 ноября Акира Макино, председатель и президент Canon Optical Industrial Equipment (Shanghai) Inc., рассказал об оборудовании компании для литографии и своем взгляде на китайский рынок. Он также говорил о своем оптимизме, несмотря на недавний спад на потребительских рынках.

Ниже приведены избранные моменты из интервью, относящиеся к китайскому рынку. Текст был переведен, сжат и отредактирован для ясности.

О конкурентных преимуществах Canon

Самое передовое оборудование, которое мы построили в массовом объеме, — это литография на фториде криптона (KrF), длина волны которой составляет 248 нм. Минимальная ширина линии, с которой он может справиться, составляет 90 нм.

Для изготовления чипов может потребоваться несколько слоев, и этот процесс довольно длительный, но не для всех слоев требуется специальное оборудование. С этими «грубыми слоями» справилась бы наша фотолитография KrF. Мы также работаем над новым оборудованием, хотя оно еще не готово к серийному производству.

С технической точки зрения наш продукт принципиально отличается от наших основных конкурентов в изготовлении моделей. Ожидается, что технология наноимпринтной литографии (NIL), которую мы вносим, ​​снизит производственные затраты, поскольку затраты на литографию в крайнем ультрафиолете (EUV) в настоящее время довольно высоки. Если нам удастся подготовить оборудование к массовому производству, это будет революционно, что значительно сократит расходы на передовое производство микросхем.

Во-вторых, наше оборудование значительно более энергоэффективно по сравнению с EUV, что является еще одним большим преимуществом в цене.

Наконец, нанопечатные узоры печатаются один раз для каждого слоя, в отличие от традиционной литографии, в которой используются сложные процессы, такие как самовыравнивающееся двойное формирование узора и самовыравнивающееся четырехкратное формирование узора (SADP/SAQP), при которых для одного слоя узоров может потребоваться больше времени. чем две экспозиции, поэтому мы думаем, что также может быть преимущество в производительности.

О продажах литографии Canon в Китае

Конкретные цифры продаж и количество единиц, которыми владеют наши клиенты, засекречены. Но по общедоступным данным, китайский рынок стал крупнейшим рынком Canon в 2020 году. Конечно, это касается не только Canon; для многих производителей полупроводников Китай, вероятно, будет крупнейшим рынком сбыта.

Условно говоря, наши отрасли производства плоских дисплеев (FPD) и производства панелей дисплеев сосредоточены в Азии. В этом регионе доля Китая является самой высокой: Китай внес наибольшую долю бизнеса Canon FPD в литографическом оборудовании FPD и оборудовании для производства OLED-дисплеев.

О развитии китайского рынка полупроводников в ближайшие пять лет

Для Canon очень важны отношения с нашими клиентами и партнерами. Я руковожу литографическим бизнесом в Китае 17 или 18 лет. За это время я наладил хорошие партнерские отношения с клиентами в Китае. Некоторые из них — отечественные фирмы, а другие — из таких регионов, как Корея, Европа и США.

Конечно, существует множество факторов, которые могут не контролироваться предприятиями или отдельными лицами. Но для Canon и лично для меня мы всегда придерживались политики «отношения с клиентами важнее всего». Мы будем продолжать предоставлять качественные продукты и услуги нашим клиентам и способствовать их росту в будущем.

я считаю, что [Chinese] Рынок определенно будет расти в ближайшие пять лет, будь то полупроводники или области, связанные с дисплеями. На рынке дисплеев наблюдается спад, поскольку продажи смартфонов менее перспективны, но такое снижение связано с перепроизводством в прошлом году. И вообще, я не думаю, что тенденция роста изменится.

У рынка полупроводников есть одна особенность — клиенты слышат больше информации о его применении в ЦП и картах памяти, но полупроводники на самом деле имеют широкое применение, например, в датчиках, управлении питанием и телекоммуникационных устройствах. И новые приложения продолжают появляться. Разнообразие полупроводников и широкий спектр приложений являются потенциальной точкой роста.

Другое дело, что у Китая есть свой потенциал. Китай имеет большое население, что делает его большим рынком, и он все еще находится в стадии развития, поэтому возможности потребления растут — люди могут позволить себе продукты среднего и высокого класса.

Итак, есть два аспекта: во-первых, Китай имеет большой потенциал в производстве собственного оборудования; во-вторых, на рынке существует сильная потребительская способность. Мы считаем, что этот рынок будет продолжать расти. Что касается недавних тенденций, мы считаем, что это всего лишь некоторые корректировки на этом пути.

Читать полную новость на сайте