15 декабря 2022 г.
ООО «Плазма-Терм» из Санкт-Петербурга, Флорида, США (производит оборудование для плазменной обработки для рынка полупроводников и составных полупроводников) получило заказ от ведущего японского производителя устройств на несколько систем, построенных на его недавно модернизированной системе быстрой термообработки Heatpulse (RTP). ), запущенная в июле на выставке SEMICON West 2022. Системы Heatpulse будут использоваться для производства силовых полевых МОП-транзисторов на основе карбида кремния (SiC) в Японии для электромобилей (EV) и других автомобильных приложений.
Plasma-Therm сообщает, что новая платформа продолжает вызывать значительный интерес среди ее глобальной клиентской базы, чтобы удовлетворить новые потребности в обработке и повысить рентабельность инвестиций (ROI), включая несколько заказов, объявленных в Европе в прошлом месяце. Заказчик из Японии выбрал Heatpulse RTP из-за его новой конфигурации с двумя печами, способности достигать температуры более 1000 °C, а также из-за его совершенно нового расширенного программного обеспечения для мониторинга и управления Cortex.
«Многие производители устройств борются с проблемами цепочки поставок, влияющими на их способность удовлетворить текущий спрос на запасные части, в том числе для устаревших систем Heatpulse, — говорит Джим Гарстка, вице-президент по продажам и развитию бизнеса. «Наша стратегия заключается в том, чтобы предоставить нашим клиентам решение для модернизации существующих установленных систем и снижения рисков, связанных с поиском запасных частей. Это позволяет заказчикам немедленно получать выгоду от важных обновлений системы для повышения производительности и пропускной способности, сохраняя при этом бесперебойную работу существующих процессов в производстве в следующем десятилетии», — добавляет он.
«Мы продолжаем наблюдать быстрый рост на специализированных рынках для подложек размером 200 мм и меньше, в том числе для силовых устройств для автомобильных приложений, при этом отраслевые аналитики прогнозируют рост на 6,2% в Японии», — говорит региональный менеджер Plasma-Therm в Японии Хирокуни Шибата. «Поскольку большинство наших устаревших систем Heatpulse установлено в Японии, мы рады предложить нашим клиентам немедленные решения для повышения производительности обработки и обеспечения максимального времени безотказной работы оборудования».
Модернизированная платформа Heatpulse RTP полностью совместима с устаревшими системами AG Heatpulse 8108 и 8800 и существующими процессами. Гибкая платформа может работать с пластинами разных размеров и оснащена модернизированной робототехникой и программным обеспечением Plasma-Therm Cortex для управления процессом. Благодаря конфигурации с двумя печами новый Heatpulse обеспечивает более высокую производительность на квадратный метр при меньшей занимаемой площади, что позволяет клиентам повысить рентабельность инвестиций. По словам Plasma-Therm, непосредственным результатом является оптимизированная производительность и производительность с максимальным временем безотказной работы при крупносерийном производстве. Кроме того, реализованы новые комплекты для преобразования размера пластин Heatpulse RTP, которые устраняют сложные и трудоемкие изменения системного оборудования, что помогает еще больше повысить рентабельность инвестиций и сэкономить время и деньги во время преобразования.
Недавно переработанная платформа Heatpulse RTP обрабатывает подложки диаметром до 200 мм для самых разных материалов, включая кремний, арсенид галлия, карбид кремния и другие составные полупроводники. Предлагая большую гибкость для работы с пластинами разных размеров, новая платформа оснащена модернизированной робототехникой и программным обеспечением Plasma-Therm Cortex для контроля и мониторинга процесса. Фирма также предлагает легко внедряемые комплекты для переоборудования для обновления уже установленных систем, исключая сложные изменения оборудования и обеспечивая полную совместимость с существующими процессами.
Cortex — это основное передовое программное обеспечение Plasma-Therm для управления технологическими процессами, предлагающее простой, интуитивно понятный пользовательский интерфейс для разработки процессов, эксплуатации и обслуживания всех линеек продуктов для травления, осаждения, RTP и плазменной резки. Программное обеспечение обеспечивает повышенную надежность и оптимизацию инструмента, а также возможность разрабатывать и поддерживать технологические рецепты, безопасное и надежное техническое обслуживание и анализ данных в режиме реального времени для точной настройки производительности и воспроизводимости. Cortex также имеет встроенное определение конечной точки для более точного контроля процесса с использованием лазерной интерферометрии для точного определения скорости и оптической эмиссионной спектрометрии. Все системы Cortex обеспечивают безопасный удаленный доступ для диагностики и поддержки процесса.
На площадке Plasma-Therm в Гренобле штаб-квартира EMEA сосредоточилась на разработке источников питания, беспроводной связи, памяти, датчиков и устройств MEMS.
Plasma-Therm приобретает бизнес PVD, RTP и травления OEM Group
/cloudfront-us-east-2.images.arcpublishing.com/reuters/F5575Y2M2BKEHAW4SPWW4KVS6A.jpg "Arm компании SoftBank регистрируется для участия в крупном IPO в США")
