Oxford Instruments ускоряет квалификационные программы для расширения производства Plasma Polish в 2023 году

21 марта 2023 г.

Британская компания Oxford Instruments сообщает, что в ходе интенсивных квалификационных проектов с несколькими ведущими производителями было подтверждено, что ее метод плазменной полировки можно с большим успехом применять для улучшения поверхности подложки из карбида кремния (SiC) и уменьшения подповерхностного повреждения при многократном использовании. производственные процессы, в которых качество кристаллов SiC является критическим фактором, ограничивающим выход продукции.

Представленная компанией Oxford Instruments на Международной конференции по карбиду кремния и связанным с ним материалам (ICSCRM 2022) в Давосе, Швейцария, в сентябре прошлого года, технология полировки подложки из карбида кремния, совместимая с 200 мм, тестируется с коммерческими партнерами в нескольких точках цепочки производства карбида кремния. таких как рост буля, до и после эпитаксии, а также между эпитаксиальными слоями, чтобы удовлетворить требования к устройствам с более высоким напряжением. Кроме того, преимущества Plasma Polish в отношении воспроизводимости и снижения повреждений были продемонстрированы 12 поставщиками в США, Европе, на Ближнем Востоке и в Африке (EMEA) и Азии, благодаря чему этот процесс оказался эффективным решением для любой заданной ситуации. материал SiC.

Квалификация метода продемонстрировала то, что описывается как современная способность снижения поверхностных и подповерхностных повреждений, нацеленная на максимальную мощность устройства. В дополнение к техническим преимуществам Plasma Polish дает возможность снизить стоимость полировки подложек SiC на нескольких этапах цепочки поставок, в то же время уменьшая воздействие процесса на окружающую среду, говорится в сообщении фирмы. Плазменная полировка, являющаяся альтернативой химико-механической полировке (CMP), подходит для производства высокопроизводительных и экономичных силовых устройств, помогая решить ключевую проблему внедрения карбида кремния.

Oxford Instruments сообщает, что, поскольку значительный рыночный интерес к Plasma Polish исходит от ключевых клиентов по всей цепочке поставок SiC, компания находится на продвинутых этапах квалификации с несколькими компаниями и наращивает производство модулей Plasma Polish.

«До сих пор взаимодействие с клиентами было феноменальным, и мы постоянно подтверждаем преимущества, которые предлагает Plasma Polish для решения текущих и будущих технических проблем, препятствующих внедрению SiC», — говорит Бас Дерксема, директор по глобальным продажам и маркетингу Oxford Instruments Plasma Technology. (OIPT) в Яттоне, недалеко от Бристоля, Великобритания. «И нитрид галлия, и карбид кремния являются ключом к планам роста Oxford Instruments в области широкозонной энергетики, и у нас есть производственные решения и очень интересные передовые пути развития, соответствующие текущим и будущим задачам наших клиентов», — добавляет он. .

«Наш новый производственный и исследовательский центр в Северн-Бич, который будет введен в эксплуатацию в течение следующих 12 месяцев, увеличит наши производственные мощности более чем на 50 %, удвоив площади прикладных лабораторий, что позволит нам продолжить разработку лидирующих на рынке инновационных решений и увеличить наращиваем наши производственные мощности, чтобы реагировать на растущий рыночный спрос».

На конференции и выставке Applied Power Electronics Conference & Exposition (APEC 2023) в Орландо, штат Флорида (19-23 марта), компания Oxford Instruments обсудит, как ее подготовка подложек из SiC и GaN, модификация поверхности, травление элементов, эпитаксия атомарного слоя (ALE) , атомно-слоевое осаждение (ALD) и технологические решения Etchpoint могут производить больше высококачественных пластин в день при меньших затратах.

Clas-SiC подходит для бесконтактной эпитаксиальной подготовки плазмы SiC Oxford Instruments

Подготовленная OIPT плазменная карбидокремниевая эпипрепарат одобрена как альтернатива CMP

OIPT запускает альтернативу CMP для эпитаксиальной подготовки подложек из карбида кремния

ОИПТ

www.apec-conf.org

https://плазма.oxinst.com

View full news on a site