OIPT поставит KAUST обновления оборудования и системы ALE, дополняющие ALD

20 апреля 2023 г.

Британская компания Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) объявила о заключении соглашения с Базирующейся в Саудовской Аравии Университетом науки и технологий имени короля Абдуллы (KAUST), системой междисциплинарных и взаимосвязанных исследовательских лабораторий.

Основные лаборатории и исследовательская инфраструктура KAUST выигрывают от добавления двух систем атомно-слоевого травления (ALE) Oxford Instruments PlasmaPro100 Cobra в дополнение к существующим возможностям атомно-слоевого осаждения (ALD) Oxford Instruments FlexAL. Считается, что с модулями ALE и ALD KAUST теперь имеет больше возможностей для развития своих технологических исследований и преодоления разрыва между академическими кругами и промышленностью за счет расширения таких проектов, как их исследования оборудования Oxford Instruments ALD (происхождение межфазных зарядов плюс сильно подавленный интерфейс). ловушки в GaN HEMT).

Соглашение включает обширную программу модернизации оборудования для осаждения и травления OIPT, включая FlexAL, IonFab и системы травления с индуктивно-связанной плазмой (ICP), уже установленные в исследовательских лабораториях KAUST. Программа обновления включает в себя установку и постоянную поддержку программируемых логических контроллеров (ПЛК) X20, аппаратного контроллера, который ускоряет разработку процессов, обеспечивая весь спектр аппаратных возможностей Oxford Instruments. Кроме того, модули будут обновлены новейшим интуитивным программным управляющим приложением Oxford Instruments PTIQ, которое обеспечивает сложную регистрацию и анализ данных для диагностики процессов и отслеживания профилактического обслуживания. Чтобы ускорить работу исследователей и повысить удобство работы пользователей, инженеры KAUST Core Labs посетят учебный центр OIPT в Великобритании, где пройдут обширную специализированную программу обслуживания инструментов и обучения работе с ALE-системами.

«Соглашение продолжает развитие KAUST передовых технологий и технических знаний, которые привлекают лучших исследователей мира и самых способных студентов», — говорит Кен Кеннеди, директор лаборатории KAUST Nanofabrication Core Lab. «Эти инвестиции подчеркивают сотрудничество KAUST между его преподавателями и общими объектами, поддерживая Королевство в передовом научно-техническом образовании и исследованиях», — добавляет он.

«Это соглашение является прекрасным примером нашей способности развивать долгосрочные стратегические партнерские отношения с ключевыми клиентами на мировом рынке исследований и разработок и поддерживать их с помощью нашего обширного портфеля обновлений и сервисных решений», — говорит Дин Ферлонг, директор по качеству и цифровым технологиям Глобальные услуги OIPT. «Это существенная инвестиция со стороны KAUST, которая укрепит его репутацию как международно признанного пользовательского центра и поддержит его передовые исследования в области ALD с добавлением возможностей ALE».

KAUST размещает последующие заказы у Oxford Instruments

ОИПТ

www.kaust.edu.sa

https://плазма.oxinst.com