Исследовательская группа в Сеульском национальном университете (SNU) успешно вырастила массив микро светодиодов на сапфировой нано-мембране толщиной 100 нм. Результаты были опубликованы в научных отчетах 5 мая 2020 года.
Согласно опубликованному документу, команда под руководством Euijoon Yoon из Департамента материаловедения и инженерии SNU разработала сапфировую наномембранную матрицу для выращивания массива многогранных микро-светодиодов размером 4 мкм × 16 мкм. При таком способе микросхема микросхемы светодиодов не нуждается в процессе плазменного травления, что приводит к лучшей внешней квантовой эффективности (EQE).
(Изображение: Научные отчеты / СНУ)
По сравнению с GaN, сформированным на плоской подложке, новый подход демонстрирует уменьшенную плотность дислокаций Micro LED на 59,6% и улучшенную внутреннюю квантовую эффективность на 44%. Микро-светодиоды на сапфировых нано-мембранах также обеспечивают в 3,3 раза более высокую фотолюминесценцию.
Кроме того, поскольку тонкая (100 нм) сапфировая нано-мембрана может быть повреждена с помощью механической силы, микро-светодиоды могут быть отделены от подложки и перенесены на заднюю панель управления дисплеем, что упрощает процесс и снижает стоимость.
Считается, что этот технологический прорыв ускорит коммерциализацию технологии светодиодных дисплеев Micro, поскольку он преодолевает ограничения текущего процесса производства светодиодов Micro.
Исследование было проведено совместно исследователями из SNU, Института передовых технологий Samsung, KAIST и Корейского института фотоники при поддержке Центра продвижения технологий будущего Samsung, проекта Министерства образования BK21 Plus и Корейского исследовательского фонда.
,
