10 января 2023 г.
В рамках пакета экономических стимулов Франции «Plan France Relance» (находится в ведении Министерства экономики и финансов страны) Лаборатория III-V в Палезо, Франция (совместная лаборатория промышленных исследований Alcatel-Lucent, Thales и CEA-Leti) получает поддержку. правительством для адаптации и модернизации своего научно-исследовательского и производственного инструмента. Поэтому Лаборатория III-V решила положиться на оборудование для эпитаксии от Riber SA из Безона, Франция, которая производит системы молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), а также источники испарения. платформа для производства оптоэлектронных и микроэлектронных полупроводников.
«InPERIUM (InP для оптоэлектроники с молекулярно-лучевой эпитаксией) — это проект, реализуемый в рамках французского плана восстановления, который позволяет нам увеличить наши производственные мощности по производству пластин, компонентов и оптоэлектронных и микроэлектронных модулей для наших стратегических секторов», — говорится в сообщении III-V. Президент лаборатории Жан-Пьер Хамад.
«MBE 412 убедил нас своей надежностью и отличной модульностью», — комментирует Оливье Делорм, исследователь эпитаксии в III-V Lab. «Благодаря нашему пониманию физики материалов в сочетании с универсальностью эпитаксиального реактора мы исследуем множество комбинаций полупроводников III-V для разработки высокопроизводительных компонентов».
Кластерный робот, работающий в ультравакууме, автоматически транспортирует пластины между различными модулями, подключенными к восьми доступным портам системы. В частности, установлен модуль подготовки, оснащенный источником водородной плазмы, улучшающий характеристики компонентов за счет обеспечения оптимальной морфологии поверхности.
Наконец, прибор для определения характеристик in-situ EZ-CURVE от Riber будет интегрирован и адаптирован для точного и непрерывного контроля процесса роста, способствуя лучшему контролю процессов эпитаксии, позволяя улучшить электронные или фотонные характеристики и, в конечном итоге, увеличить производство компонентов. эффективность.
«Наш системный кластер MBE позволяет как разрабатывать продукты, так и производить их, — отмечает председатель правления Riber Мишель Пико. «Наш реактор осаждения легко интегрируется с различными инструментами контроля, необходимыми для разработки новых материалов. Модульность конструкции кластера дает возможность добавлять дополнительные реакторы для этапов предварительной и последующей обработки и анализа или увеличивать количество реакторов для оптимизации разработки продукта и/или повышения эффективности производства», — добавляет он. «Наша платформа полностью автоматизирована и управляется нашим программным обеспечением Crystal XE».
View full news on a site
