Imec разрабатывает массив pMUT, совместимый с технологиями FPD

Массив демонстрирует акустическое давление в воздухе выше 1 кПа, уровень давления, необходимый для обеспечения тактильных ощущений в воздухе и направленного звука.

Переход от процессов, основанных на пластинах, к процессам, совместимым с FPD, подготавливает технологию pMUT к интеграции будущих авиационных приложений, таких как вибро-тактильная связь, измерение времени полета (3D) или распознавание жестов, в новых форм-факторах, таких как смартфоны и приборные панели автомобиля.

Эту технологию можно использовать для создания бесконтактных интерактивных экранов в автомобильных и потребительских приложениях или в играх.

Ультразвуковая технология может быть использована для оснащения интеллектуальных систем тактильной обратной связью, давая пользователю ощущение осязания.

В случае тактильных ощущений в воздухе ультразвуковые волны создают локальное поле давления, заставляющее пользователя «чувствовать» ощущение света, не касаясь объекта.

Такие приложения требуют высокого давления на низких ультразвуковых частотах. Текущие решения включают, с одной стороны, большие стандартные пьезоэлектрические элементы, которые производят относительно высокие частоты, препятствующие точному взаимодействию с пользователем.

С другой стороны, небольшие массивы микромеханических преобразователей на основе кремния могут обеспечивать тактильную обратную связь только на небольшом расстоянии на небольшом расстоянии.

Тонкопленочная технология pMUT от Imec, совместимая с FPD, по своей сути более совместима с технологиями производства дисплеев. Таким образом, он прокладывает путь к приложениям с беспрецедентной областью и глубиной опыта.

Тонкопленочный массив pMUT Imec, совместимый с FPD, теперь заполняет нишу низкочастотных устройств высокого давления для приложений большого объема в воздухе.

Демонстрируются пиковые значения давления в воздухе ~ 1,5 кПа на резонансных частотах в диапазоне от 200 до 400 кГц, что воспроизводит показатели производительности, успешно продемонстрированные тактильной обратной связью в воздухе на его платформе на основе кремниевых пластин.

«В настоящее время мы предлагаем заинтересованным сторонам демонстрации нашей технологии FPD и решений для прототипирования на уровне пластины. Кроме того, мы ищем партнерские отношения для серийного производства панелей и плит большой площади», — говорит Эрвин Хейзенпрограммный директор MEMS Ultrasound в компании imec.

«Возможность интеграции нашей технологии pMUT в большие панели и дисплеи является ключевой вехой в реализации нашего видения сенсорных поверхностей большой площади. Мы начали с ультразвуковых преобразователей для визуализации внутри тела, а теперь перешли к приложениям в воздухе, таким как тактильные ощущения». заключает Ксавьер Роттенбергколлеги по датчикам и исполнительным механизмам в imec