1 сентября 2022 г.
Компания EV Group из Санкт-Флориана, Австрия, поставщик оборудования для склеивания пластин и литографии для полупроводниковых, микроэлектромеханических систем (МЭМС) и нанотехнологий, расширила свое сотрудничество с Исследовательским институтом промышленных технологий (ITRI) в Синьчжу, Тайвань. развитие передовых гетерогенных интеграционных процессов.
При поддержке тайваньского Департамента промышленных технологий (DoIT) Министерства экономики (MOEA) ITRI учредила Альянс гетерогенных интеграционных чип-лет системных пакетов (Hi-CHIP), чтобы помочь создать экосистему, охватывающую проектирование, тестирование и проверку упаковки. и пилотное производство для достижения цели локализации цепочки поставок и расширения возможностей для бизнеса. Являясь членом Hi-CHIP Alliance, компания EVG предоставила несколько своих самых передовых систем склеивания пластин и литографических систем, в том числе безмасочную экспонирующую литографическую систему LITHOSCALE, автоматизированную систему дебондинга EVG850 DB и гибридную систему склеивания GEMINI FB. Установка этих крупносерийных производственных платформ на предприятии ITRI должна помочь общим клиентам EVG и ITRI ускорить разработку и передачу новых разнородных интеграционных процессов из отдела исследований и разработок на заводы клиентов.
В производстве полупроводников вертикальное 3D-стекинг и гетерогенная интеграция — производство, сборка и упаковка нескольких различных компонентов и кристаллов в одно устройство или корпус — становятся все более важными для повышения производительности за пределами масштабирования транзисторов. Трехмерная и гетерогенная интеграция позволяют использовать межсоединения с высокой пропускной способностью в усовершенствованной компоновке для достижения общего прироста производительности системы и, таким образом, стали решающим фактором для искусственного интеллекта (ИИ), автономного вождения и других высокопроизводительных вычислительных приложений. В результате MOEA активно отслеживает и объединяет ресурсы с проектами НИОКР национального масштаба, такими как «Усовершенствованная производственная платформа с гетерогенным интегрированным модулем для чипов ИИ» и «Программируемая гетерогенная 3D-интеграция».
«В рамках миссии ITRI по стимулированию промышленного развития, созданию экономической ценности и повышению социального благосостояния за счет технологических исследований и разработок мы сосредоточились на разработке новых процессов интеграции трехмерных и гетерогенных микросхем и налаживании тесного сотрудничества по всей цепочке поставок, чтобы обеспечить непрерывное развитие и рост. полупроводниковой промышленности», — говорит доктор Роберт (Вей-Чунг) Ло, заместитель генерального директора Лаборатории исследований электронных и оптоэлектронных систем в ITRI. «Наличие в нашем исследовательском центре тех же полностью автоматизированных систем крупносерийного производства, что и у наших клиентов на их фабриках, включая эти новые решения для склеивания пластин и литографии от EV Group, позволяет нашим клиентам немедленно переносить технологические рецепты, разработанные в ITRI, в свои собственные. fabs — быстрое время перехода от лаборатории к фабрике», — добавляет он.
«Ключом к нашей философии Triple-i (изобретать-инновировать-внедрять) является наше внимание к взаимодействию с ведущими мировыми исследовательскими институтами, такими как ITRI, для ускорения разработки и коммерциализации новых технологий, которые будут способствовать будущим инновациям в полупроводниковой промышленности», — говорит Херманн. Уолтл, исполнительный директор по продажам и поддержке клиентов и член исполнительного совета EVG. «Наше постоянное сотрудничество с ITRI дает нам доступ к исследовательскому опыту мирового класса и еще больше улучшает нашу инфраструктуру поддержки процессов на Тайване, которую EVG значительно расширила за эти годы, чтобы лучше соответствовать растущим потребностям и задачам, с которыми сталкиваются наши клиенты и партнеры в регионе. . Это включает в себя нашу выдающуюся команду разработчиков процессов и приложений, базирующуюся в нескольких местах на Тайване, которая дополняет услуги, предоставляемые в Центре компетенции по гетерогенной интеграции EVG в нашей штаб-квартире в Австрии».
