Canon считает, что производственные затраты при использовании NIL будут на 40 % меньше, чем при использовании EUV, а энергопотребление при использовании NIL будет на 90 % меньше, чем при использовании EUV.
Призом для Canon является то, что NIL разрушает монополию ASML на передовые офсетные машины.
Строительство нового завода начнется в следующем году. Это первый новый завод, построенный Canon за 21 год, и он будет производить существующую линейку литографических машин, а также инструменты NIL.
Ожидается, что завод будет стоить 345 миллионов долларов, включая стоимость оборудования, и будет построен на востоке Японии в префектуре Тотиги.
К Canon присоединились Dai Nippon Printing и Kioxia в разработке NIL. технологии.
EV Group и Toppan Photomask также разрабатывают инструменты NIL.
В августе исследователи из Токийского университета продемонстрировали, как можно расширить NIL для обеспечения геометрии с разрешением 10 нм, открывая возможности для процессов с разрешением 2 и 3 нм.
Хотя над технологией NIL работали более десяти лет, проблемы с реализацией привели к тому, что промышленность сосредоточила ресурсы на EUV, и эта технология стала победителем.